半导体制造行业电能质量解决方案

【国际电力产业网 （www.gridsources.com）】8月19日讯  半导体制造机台设备极为昂贵，不少设备价值高达几百万美元，并且性能极为精密，对工作条件的要求也非常苛刻。半导体芯片制造企业更是资本密集、技术密集型产业，芯片制造厂也是公认的生产最为复杂的工厂之一。

其生产过程有许多异于传统的工艺特性。例如工件再回流现象、成批加工、作业等候时限、高良率的要求、机台宕机率等，以至于一般都将交期不准，在制品过高，周期过长等问题归咎于其生产管理的复杂性及设备系统的不稳定。

因此，国内外各相关研究单位与半导体厂商都在努力寻求如何减少制造成本、降低废片率，改善总体设备效能（OEE）。提高产品良率及产品效能的方法。

我们了解到，在各种各样的改善方案中，未出现关于电能质量方面的研究内容。而电能作为这些昂贵的、极精密的、工作条件非常苛刻的机台设备的“血流”——动力源。其任何微小变化都可能引起这些机台设备的异常状态，从而导致大的损失。比如：IC测试台、PLC控制的机械手、芯片制造用的晶圆机、或变频控制的半导体机台都会产生大量的谐波，他们不但会造成机台设备自身的坏机现象，回流进电网的谐波电流还会引起其它回路的发热，电子开关误动作、供电电压不稳，甚至生产线停线、半成品的报废，其损失不可谓不大。

而且高能设备如：外延设备、扩散设备、离子注入设备的频繁加卸载，更加重了用电环境的恶化。由此可见半导体制造行业的电能质量问题非常严重，电磁环境非常恶劣。故芯片制造业内部的电能质量问题应该引起半导体制造行业决策者的重视。

为此，作为专业的内部电能质量“卫士”，期望通过我们的专业服务，改善半导体制造企业内部的电能质量环境，以提高设备的可靠性和稳定性，减少制造成本、降低废片率，改善总体设备效能（OEE），提高产品良率及产品效能。

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编辑：eleven